Kundenspezifische Präzisions-PI-Vakuumscheibe für Halbleiter-Vakuumhandhabungssysteme

Hochpräzise PI-Vakuumscheibe, entwickelt für die Halbleiter-Vakuumhandhabung und Reinraumautomationssysteme. Präzisions-CNC-gefertigtes Polyimid-Bauteil mit glatter Oberfläche, ausgezeichneter Dimensionsstabilität und zuverlässiger Vakuumadsorptionsleistung für Umgebungen mit hohen Temperaturen und Kontaminationsempfindlichkeit.

Präzisions-PI-Vakuumscheibe für Halbleiteranwendungen

Diese maßgeschneiderte Präzisions-PI-Vakuumscheibe wurde für die Halbleiter-Vakuumhandhabung, Wafer-Transfersysteme und Reinraumautomatisierungsanlagen entwickelt, die eine hohe Dimensionsstabilität und zuverlässige Vakuumleistung erfordern.

Hergestellt aus hochleistungsfähigem Polyimid (PI)-Material bietet das Bauteil eine ausgezeichnete Wärmebeständigkeit, geringe Partikelentwicklung, chemische Beständigkeit und stabilen Betrieb in anspruchsvollen industriellen Umgebungen. Präzisions-CNC-Bearbeitung gewährleistet eine glatte Oberfläche und enge Toleranzkontrolle für vakuumempfindliche Anwendungen.

Entwickelt für Halbleiter-Bewegungssysteme, Vakuumadsorptionseinheiten, Wafer-Handling-Ausrüstung und hochpräzise Automatisierungsanwendungen.

Merkmale

• Hochleistungs-Polyimid (PI)-Material
• Präzisions-CNC-bearbeitete Oberfläche
• Ausgezeichnete Vakuumadsorptionsstabilität
• Glatte und gratfreie Oberfläche
• Hohe Temperaturbeständigkeit bis zu 300°C
• Geringe Partikelentwicklung für Reinraumanwendungen
• Hohe Dimensionsstabilität
• Chemikalien- und verschleißfest
• Anwendung nach Halbleiterstandard
• OEM-Fertigung nach Maß erhältlich

Anwendungen

• Halbleiter-Vakuumsysteme
• Wafer-Handling-Ausrüstung
• Reinraumautomatisierung
• Vakuum-Transfersysteme
• Präzisions-Industrieautomation
• Hochtemperatur-Bewegungssysteme

Kundenspezifische Fertigung

SUNTRON bietet OEM-CNC-Bearbeitungsdienstleistungen nach Kundenzeichnungen oder Mustern an. Kundenspezifische Abmessungen, Vakuumlochstrukturen, Oberflächengüte und Präzisionsanforderungen sind für Halbleiter- und hochpräzise industrielle Anwendungen verfügbar.